คุณสมบัติ
- สามารถตรวจจับปริมาณก๊าซที่ใช้ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ต่างๆ
- ฟังก์ชั่นปั๊มหยุดอัตโนมัติ
- โหมดไอเสียอัตโนมัติ
- เทียบเท่ากับ IP22 (ในเคสอ่อน)
ข้อมูลจำเพาะ
แบบอย่าง | XP-703DIII |
ตรวจพบก๊าซ | ไฮโดรเจน อาร์ซีน ไดโบแรน ไซเลน และฟอสฟีน |
หลักการตรวจจับ | เซ็นเซอร์เซมิคอนดักเตอร์ลวดร้อน |
วิธีการสุ่มตัวอย่าง | สารสกัด |
อัตราการรั่วไหลที่ตรวจพบได้ | H 2 : 5.07 x 10-7, AsH 3 : 2.53 x 10-7, B 2 H 6 : 1.01 x 10-7, SiH 4 : 2.53 x 10-7, PH 3 : 1.52 x 10-7 |
ความเข้มข้นของก๊าซที่ตรวจพบได้ | H 2 : 1.0ppm, AsH 3 : 0.5ppm, B 2 H 6 : 0.2ppm, SiH 4 : 0.5ppm, PH 3 : 0.3ppm |
เวลาตอบสนอง | ภายใน 10 วินาที (สำหรับ 300% ของความเข้มข้นของก๊าซที่ตรวจจับได้) |
พาวเวอร์ซัพพลาย | แบตเตอรี่อัลคาไลน์ขนาด AA x 2 |
อายุการใช้งานแบตเตอรี่* | ประมาณ 12 ชั่วโมง (ด้วยแบตเตอรี่อัลคาไลน์ขนาด AA) |
ระดับการป้องกัน | เทียบเท่ากับ IP22 |
แรงดันใช้งาน | ความดันบรรยากาศ (800 ถึง 1100 hPa) |
ปฏิบัติการ อุณหภูมิ / ความชื้น |
0 ถึง +40°C น้อยกว่า 85%RH (ไม่มีการควบแน่น) |
ขนาด | ประมาณ ก38 x ส130 x ล32 มม. (ไม่รวมส่วนที่ยื่นออกมา) |
น้ำหนัก | ประมาณ 190 ก. (รวมแบตเตอรี่และซอฟต์เคส) |
เครื่องประดับ | ซอฟต์เคส, ตัวกรองท่อระบายน้ำ, ตัวกรองสำรอง, หัววัดแก๊ส, ตัวกรองฝุ่น, สายคล้องมือ, แบตเตอรี่อัลคาไลน์ขนาด AA x 2 เป็นต้น |
*อาจแตกต่างกันไปตามสภาพแวดล้อม สภาพการทำงาน เวลาใช้งาน ผู้ผลิตแบตเตอรี่ ฯลฯ
การอนุมัติ
ก๊าซที่เลือกได้
arsine【AsH3】, dichlorosilane 【SiH2Cl2】, diborane 【B2H6】, ไฮโดรเจน【H2】, ก๊าซจากการผลิตเซมิคอนดักเตอร์, ฟอสฟีน【PH3】, R407C, R410A