การกำหนดค่าระบบ
คุณสมบัติ
- หน่วยเซ็นเซอร์ได้รับการสอบเทียบแล้วเมื่อส่งไปยังไซต์ หน่วยเซ็นเซอร์ต้องการเพียงศูนย์การตรวจสอบและการตรวจสอบการทำงานหลังจากเปลี่ยนแล้ว และพร้อมที่จะตรวจสอบความยินยอมของก๊าซ
- หน่วยเซ็นเซอร์ที่ใช้แล้วจะถูกส่งคืนเมื่อได้รับใหม่เพื่อให้สามารถรีไซเคิลได้
- สามารถเปลี่ยนชุดเซนเซอร์และเส้นทางการไหลของก๊าซโดยไม่ต้องใช้เครื่องมือ
- ชิ้นส่วนที่ใช้งานได้ทั้งหมดอยู่ในโมดูลเพื่อให้เปลี่ยนได้ง่าย
- Cosmos ช่วยในการจัดการเวลาที่เชื่อถือได้สำหรับชุดเซ็นเซอร์และการเปลี่ยนเส้นทางการไหลของก๊าซ
ข้อมูลจำเพาะ
แบบอย่าง | PS-7 | |
ประเภทมาตรฐาน | ด้วยไพโรไลเซอร์ | |
หลักการตรวจจับ | เซลล์ไฟฟ้าเคมีเซมิคอนดักเตอร์ลวดร้อน,
เซลล์กัลวานิก |
ไพโรไลซิส + เซลล์ไฟฟ้าเคมี |
วิธีการสุ่มตัวอย่าง | ประเภทสารสกัด (อัตราการไหลตัวอย่าง: 0.5L/min, การควบคุมอัตโนมัติ) | |
ท่อเก็บตัวอย่าง*1 | เทฟลอน – เส้นผ่านศูนย์กลางภายนอก: 6 มม., เส้นผ่านศูนย์กลางภายใน: 4 มม., ความยาวท่อ: 20 ม. หรือน้อยกว่า | |
ความเข้มข้นของแก๊สบ่งชี้ | LCD 4 หลัก (พร้อมหน่วยวัด), กราฟแท่ง 20 ขั้นตอน | |
สัญญาณเตือน | สัญญาณเตือนแก๊ส (ครั้งที่ 1 และครั้งที่ 2) – สัญญาณเตือน: ไฟ LED สีแดงกะพริบ LCD – ALARM1 สำหรับสเตจที่ 1, ALARM1 และ ALARM2 สำหรับขั้นตอนที่ 2 สัญญาณเตือนการไหลต่ำ – การบ่งชี้การอุดตัน: LCD – สัญญาณการไหลหมุนช้า – สัญญาณเตือน: ไฟ LED สีเหลืองกะพริบ LCD – ตัวบ่งชี้ FLOW, สัญญาณการไหลหยุดหมุน สัญญาณเตือนปัญหาเซ็นเซอร์/สัญญาณเตือนการแทรกเซ็นเซอร์ไม่ถูกต้อง – สัญญาณเตือน: ไฟ LED สีเหลืองกะพริบ LCD – SENS ตัวบ่งชี้ที่ Pyrolyzer แบ่งสายปลุก * 2 – ปลุก: โคมไฟเหลืองกระพริบ LED LCD – CONV ข้อบ่งชี้ |
|
ผลลัพธ์นิรันดร์ | – เอาต์พุตอนาล็อกความเข้มข้นของแก๊ส: 4-20 mADC (ใช้ร่วมกับแหล่งพลังงานขั้วลบ)– หน้าสัมผัสสัญญาณเตือนแก๊ส (ระยะที่ 1 และ 2)): 1a หน้าสัมผัสไม่มีแรงดัน/ไม่ล็อค – หน้าสัมผัสสัญญาณเตือนปัญหา (ตัวสะสมเปิด/ไม่ล็อค) |
|
แอปพลิเคชันเคเบิ้ล | สายเคเบิลควบคุมหุ้มฉนวน 3C หรือ 4C (φ8-11มม.) x 2 | |
อุณหภูมิในการทำงาน/ ความชื้น | 0 ถึง 40 °C (ไม่มีการเปลี่ยนแปลงอย่างกะทันหัน)30 ถึง 85%RH (ไม่มีการควบแน่น) | |
แหล่งพลังงาน | 24 VDC ±10% | |
การใช้พลังงาน | ประมาณ 7W | |
ขนาด | W62 X H124 X D143 มม. (ไม่รวมตัวเลือกและส่วนที่ยื่นออกมา) | |
น้ำหนัก | ประมาณ 1.0กก. | |
การติดตั้ง | ติดผนัง | |
การอนุมัติ | CE, SEMI (อุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์และมาตรฐานวัสดุ) |
*1 แนะนำให้ใช้เทฟลอน แต่ขึ้นอยู่กับสภาพการทำงานเมื่อความสามารถในการดูดซับก๊าซสูง ดังนั้น ติดต่อเราเพื่อขอข้อมูลเพิ่มเติม ข้อกำหนดข้างต้นอาจเปลี่ยนแปลงได้โดยไม่ต้องแจ้งให้ทราบล่วงหน้า
*2 สำหรับรุ่นที่มีไพโรไลเซอร์เท่านั้น
รายการก๊าซที่ตรวจจับได้ (ชุดเซ็นเซอร์)
ก๊าซ
|
เต็มขนาด
|
หลักการตรวจจับ
|
หมายเลขรุ่น |
SiH 4
|
5 / 25ppm
|
เคมีไฟฟ้า
|
CDS-7
|
PH 3
|
1ppm
|
||
B 2 H 6
|
500ppb
|
||
AsH 3
|
250ppb
|
||
H 2 Se
|
250ppb
|
||
Si2H6
|
25ppm
|
||
SiH 2 Cl 2
|
25ppm
|
||
GeH 4
|
1ppm
|
||
NH 3
|
100ppm
|
||
HF
|
10ppm
|
||
PF 3
|
10ppm
|
||
HCl
|
5 / 25ppm
|
||
HBr
|
10ppm
|
||
F 2
|
5ppm
|
||
Cl 2
|
5ppm
|
||
ClF 3
|
1ppm
|
||
O 3
|
1ppm
|
||
CO
|
250ppm
|
||
H2S
|
50ppm
|
||
NF3
|
100ppm
|
เคมีไฟฟ้า
กับไพริไลเซอร์ |
|
CCl4
|
100ppm
|
||
H2
|
500 / 1000ppm
|
เซมิคอนดักเตอร์ลวดร้อน
|
CHS-7
|
O2
|
25vol%
|
เซลล์กัลวานิก
|
COS-7
|
*โปรดติดต่อตัวแทนของคุณสำหรับก๊าซอื่นๆ นอกเหนือจากที่ระบุไว้
การอนุมัติ
*ยกเว้นบางประเภท โปรดติดต่อเราเพื่อขอข้อมูลเพิ่มเติม
SEMI (อุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์และมาตรฐานวัสดุ)