Portable Semiconductor Gas Detector XPS-7

• XPS-7 ตัวเดียวสามารถใช้กับก๊าซเซมิคอนดักเตอร์ได้หลากหลาย เพียงแค่เปลี่ยนชุดเซ็นเซอร์
• ชุดเซนเซอร์แบบคาสเซ็ตต์ช่วยลดการสอบเทียบ

*1 ภายใต้สภาวะการวัดที่เหมือนกัน

*2 อายุการใช้งานแบตเตอรี่อาจแตกต่างกันไปตามสภาพแวดล้อม สภาพการใช้งาน ระยะเวลาในการจัดเก็บ การผลิตแบตเตอรี่ ฯลฯ

อาร์ซีน【AsH3】, แอมโมเนีย【 NH3 】, คาร์บอนมอนอกไซด์【CO】, ไนตริกออกไซด์【NO】, ไฮโดรเจนคลอไรด์【HCI】, คลอรีน【Cl2】, โอโซน【O3】, คลอรีนไตรฟลูออไรด์【ClF3】, ไดคลอโรซิเลน【SiH2Cl2】, disilane 【Si2H6】, diborane 【B2H6】, ไฮโดรเจนโบรไมด์【HBr】, ไฮโดรเจน selenide 【H2Se】, ซัลเฟอร์ไดออกไซด์【SO2】, ไนโตรเจนไดออกไซด์【NO2】, ก๊าซการผลิตเซมิคอนดักเตอร์, กรดไฮโดรฟลูออริก【HF】, ฟลูออรีน【F2】, ฟอสฟีน【 PH3】, germane【GeH4】, ไซเลน【SiH4】, ไฮโดรเจนซัลไฟด์【H2S】